Aktive Minionenvironments
Aktive MCRT Minienvironments
- Aktive Minienvironments zur Erzeugung höchster Reinraumklassen innerhalb von Prozeßmaschinen, z.B. für die Halbleiterindustrie
- Einfache Anpassung an Ihre Maschine durch modularen Aufbau
- Laminarisator zur Erzeugung optimaler Strömungsbedingungen
- Plenum-integrierte Beleuchtung zur Vermeidung von Turbulenzen
- Zertifiziert gemäß SEMI-Standards